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MEMS与微系统-MEMS开关器件

作者:  时间:2019-11-14 15:21:19  浏览:

报告题目:MEMS与微系统-MEMS开关器件

报告时间:11月23日

报告地点:静远楼419

人:向小健

报告人简介:向小健博士2012年本科毕业于东北大学机械系,2019年获得上海交通大学电子科学与技术专业博士学位,现为清华大学博士后,师从郑泉水院士从事超滑MEMS器件方面的研究。向小健博士一直从事微机电系统(MEMS)方面的研究工作,致力于MEMS静电执行器、RF-MEMS开关、MEMS惯性开关、能量采集器等器件的设计、仿真、制造和测试。针对RF-MEMS开关吸合电压高、闭合弹跳问题(严重影响寿命)、工艺鲁棒性等问题,首次提出了一种非线性变刚度抑制方法,得到了国际相关领域专家的关注,并应邀在IEEE Sensors和IEEE Transducers顶级会议上作口头报告(ORAL)。截止目前,向小健博士在本领域顶级期刊(IEEE JMEMS、APL、EDL、JMM等)与会议(IEEE MEMS、IEEE Sensors,IEEE Transducers)上已发表20余篇相关论文,并担任IEEE JMEMS、APL、SMS、JMM等顶级MEMS期刊审稿人。

主办单位:电信学院


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